02.11.2023 • Praxisberichte • Reinraum
Kryogener On-Wafer-Prober bestimmt die Qualität von Qubit-Bauelementen
Deutschlands erste kryogene Anlage zur statistischen Qualitätsmessung von Qubit-Bauelementen auf ganzen 200- und 300-mm-Wafern hat am Fraunhofer IAF die Arbeit aufgenommen.