Reinheitstauglichkeit von Betriebsmitteln und RLT-Komponenten
Somit hilft sie bei der Erreichung einer spezifizierten Produktqualität. Die Richtlinie bietet eine standardisierte Vorgehensweise zur Qualifizierung von Betriebsmitteln und RLT-Komponenten für reinheitstechnische Bereiche.
Betriebsmittel und raumlufttechnische Komponenten in Reinräumen müssen besonderen Anforderungen genügen. Es muss sichergestellt werden, dass durch sie keine unzulässigen Verunreinigungen in den Raum eingebracht oder in ihm erzeugt werden – weder bei ihrer Inbetriebnahme, noch über ihre restliche Nutzungsdauer im Reinraum.
Dabei ist es sinnvoll, die Reinheitstauglichkeit von Komponenten bereits in der Konzeption der reinen Bereiche zu berücksichtigen, da ein späterer Austausch oft mit erheblichem Aufwand und entsprechenden Kosten und Störungen im Arbeitsablauf verbunden ist. Die Beurteilung der Reinheitstauglichkeit ist ein ganzheitlicher und in Teilen produktspezifischer Prüfvorgang. Es ist notwendig, die Zielsetzungen der Prüfung festzulegen, das heißt, die erforderlichen Betriebsparameter des Prüfobjekts mit den spezifischen Arbeitsschritten, an denen Emissionen und Verunreinigungen entstehen können. Ferner sind für ein valides Testergebnis die Umgebungsbedingungen zu beachten, und nicht zuletzt die verfügbare Messtechnik selbst. VDI 2083 Blatt 9.1 benennt die Grundlagen, Schritte und Parameter der Reinheitstauglichkeit, der partikulären Oberflächenreinheit und deren Kontrolle.
Herausgeber der VDI 2083 Blatt 9.1 „Reinraumtechnik - Reinheitstauglichkeit und Oberflächenreinheit“ ist die VDI-Gesellschaft Bauen und Gebäudetechnik (GBG). Die Richtlinie erscheint im Januar 2021 als Weißdruck und ersetzt die Ausgabe von Dezember 2006. Sie kann zum Preis ab EUR 123,- beim Beuth Verlag (Tel.: +49 30 2601-2260) bestellt werden. Onlinebestellungen sind unter www.vdi.de/2083 oder www.beuth.de möglich. VDI-Mitglieder erhalten 10 % Preisvorteil auf alle VDI-Richtlinien. VDI-Richtlinien können in vielen öffentlichen Auslegestellen kostenfrei eingesehen werden.
