Interferometer

25.03.2021 • Praxisberichte • Reinraum

Weißlicht-Interferometer mit Nanometer-Präzision

Die Anforderungen an die Abstands- und Dickenmessung sind in vielen Anwendungen hoch. Folien, Flachglas, Computer-Festplatten, Displays oder Halbleiterwafer müssen mit sehr hoher Genauigkeit gefertigt werden. Eine entsprechend präzise Messtechnik ist die optische Interferometrie.

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