Hager + Elsässer baut Reinstwasser-Anlage in Russland
Hager + Elsässer hat den Zuschlag für die Entwicklung und den Bau einer Reinstwasser-Anlage in Russland erhalten. Die Anlage für die Aufbereitung von Reinstwasser ist eines der größten Projekte, die bisher für die Halbleiterindustrie in Russland realisiert wurde. Die UPW-Anlage, die im Rahmen eines Neubaus für einen hochmodernen Waferhersteller gebaut wird, soll künftig 100 m³ Reinstwasser pro Stunde erzeugen. Das Wasser wird für die Fertigung von rund 15.000 Waferstarts pro Monat benötigt. Hager + Elsässer überzeugte den Auftraggeber mit einem Anlagen-Konzept, das zur Wasseraufbereitung deutlich weniger Chemikalien benötigt als andere Technologien. Das mehrstufige Verfahren gewährleistet zudem die effektive Entfernung von Bor zur Einhaltung der empfohlenen Richtwerte gemäß der ITRS-Roadmap (ITRS= International Technology Roadmap for Semiconductors). Die Inbetriebnahme der Anlage ist für Mitte 2014 geplant.
