Pfeiffer Vacuum Turbopumpen HiPace 350 und 450

Ihr breites Einsatzspektrum umfasst neben Analytik, Vakuumprozess- und Halbleitertechnik auch Anwendungen in den Bereichen Beschichtung, Forschung und Entwicklung sowie in der Industrie. Die beiden Turbopumpen bieten hohe Leistung bei geringem Gewicht und Platzbedarf. Mit einem Hybridlager, bestehend aus einem keramischen Kugellager auf der Vorvakuumseite und einem permanentmagnetischen Radiallager auf der Hochvakuumseite, verfügen sie über eine besonders robuste Lagerung, die für maximale Zuverlässigkeit sorgt. Die Rotorkonstruktion führt zu einem hohen Saugvermögen für leichte Gase, zu umfassender Kompatibilität mit Vorvakuumpumpen und hohem Gasdurchsatz sowie sehr guter Kompression leichter Gase. Die integrierte HiPace Antriebselektronik bietet eine Vielzahl von Kommunikationsschnittstellen einschließlich ProfiNet- und EtherCat ohne Zunahme der Baugröße. Remote- und Sensorfunktionalitäten ermöglichen die Analyse von Pumpendaten zur optimalen Prozessüberwachung während des Betriebes. Die Lagerwartung sowie der Austausch von Lagern können beim Kunden vor Ort durchgeführt werden. Die Pumpen laufen bis zu 5 Jahre wartungsfrei.