
Membranpumpen helfen bei der Reinigung von Silizium-Wafern mit überkritischem Kohlenstoffdioxid
Die reinraumtauglichen Membrandosierpumpen mit PTFE-Sandwichmembran von Lewa eignen sich besonders für den Einsatz beim Kohlenstoffdioxid-Reinigungsverfahren für Silizium-Wafer. Dieser Beitrag erläutert die Besonderheiten.