Forschungsinfrastruktur für Halbleiter-Technologien erweitert

Mit dem neuen Laborgebäude für optoelektronische Messtechnik und Quantensensorik sowie der neuen Anlagenhalle für die metallorganische chemische Gasphasenabscheidung (metal organic chemical vapor deposition, MOCVD) legt das Institut den Grundstein für die strategische Weiterentwicklung seiner Kernkompetenzen. Die durch Mittel des Bundes, des Landes Baden-Württemberg und des Bundesministeriums der Verteidigung (BMVg) finanzierten Neubauten wurden am 30. Juni 2022 feierlich eingeweiht und erfüllen hohe Standards hinsichtlich Energieeffizienz, Nachhaltigkeit und Baudynamik. Den großen Mehrwert der Neubauten für das Institut erläutert der Bereichsleiter für Forschungsinfrastruktur, Dr. Martin Walther, wie folgt: „Mit den neuen Laboren stehen unseren Wissenschaftlern noch bessere Forschungsbedingungen zur Verfügung. Namentlich die Applikationslabore für Quantensensorik und Laser-Spektroskopie erweitern die Kooperationsmöglichkeiten mit Industrie- und Forschungspartnern signifikant. Durch die neue MOCVD-Halle konnten wir zudem unseren Epitaxie-Anlagenpark vergrößern, das Niveau der Materialqualität und Reproduzierbarkeit weiter erhöhen und zugleich einen deutlich effizienteren Betrieb sicherstellen.“ Der geschäftsführende Institutsleiter des Fraunhofer IAF, Prof. Dr. Rüdiger Quay, betont außerdem: „Es freut mich sehr, dass die Gebäude den Anforderungswert der Energieeinsparverordnung (EnEV) übertreffen und CO₂-neutrale Bauelemente aufweisen. Das ist ein wichtiges Signal für unser Vorhaben, gemeinsam mit der Fraunhofer-Gesellschaft bis 2030 Klimaneutralität zu erreichen.“ Im neuen Laborgebäude stehen insgesamt 22 Labore auf 900 m² Nutzfläche zur Verfügung, die baudynamisch für den Einsatz höchst schwingungsempfindlicher Geräte konzipiert wurden. Die neuerrichtete MOCVD-Halle bietet Platz für fünf hochmoderne Anlagen, mit denen das Fraunhofer IAF insbesondere seine epitaktischen Aktivitäten im Bereich der Halbleiter mit hoher Bandlücke ausbauen kann.