UL3000 Fab Ultra die neueste Generation mobiler Dichtheitsprüfgeräte
Die Firma Inficon aus Köln, einer der weltweit führenden Hersteller von Instrumenten und Geräten für die Dichtheitsprüfung, hat mit dem UL3000 Fab Ultra die neueste Generation seiner schlanken, mobilen Dichtheitsprüfgeräte vorgestellt. Inficon hat das Gerät für die speziellen Anforderungen von Anlagen für die Fertigung von Halbleiter-Chips, Solarzellen und Flachbildschirmen, für Glas- und Folienbeschichtung sowie für Vakuumanlagen weiterentwickelt. Das Gerät nutzt die Vakuummethode mit Helium als Prüfgas, um kleinste Undichtigkeiten sicher zu detektieren. Es ersetzt die Scrollpumpe aus älteren Modellen mit einer äußerst leistungsfähigen Klauenpumpe. Mit dieser überlegenen Vorpumpe evakuiert es zu prüfende Produktionsausrüstung deutlich schneller – gerade wenn diese sehr groß ist. Durch das hohe Pumpvermögen (bis zu 36 m³ pro Stunde) besonders im relevanten Druckbereich (Normaldruck bis hinab zu 1 mbar) reduziert das Gerät die Evakuierungszeit und damit die Stillstandszeit in der Produktion auf entscheidende Weise. Generelle Pluspunkte der UL3000 Dichtheitsprüfgeräte-Linie sind das schlanke, mobile Design, die schnelle Messbereitschaft, die Robustheit und das intuitive Bedienkonzept.
