Eine Nasswerkbank, die Energie und Ressourcen einspart

Einsatzzwecke der Anlagen sind z.B. die Substratreinigung und Vorbehandlung sowie Nachbehandlung von Silizium-Wafern, Glassubstraten und allen weiteren Ausgangs- und Endprodukten. Das intelligente Lüftungsmanagement der Nasswerkbank ermöglicht es, bis zu 50 % an Energie zu sparen. Die Basis dieses Konzepts steckt in der optimierten bedarfsgerechten Einrichtung der Betriebsmodi wie Normalbetrieb, Standby-Betrieb oder Nachtabsenkung

Die permanente Überwachung der Nasswerkbänke sorgt dafür, dass der Volumenstrom der eingebrachten Luft zu jeder Zeit automatisch angepasst wird. Ziel ist, den Arbeitsbereich bedarfsgerecht rein zu halten. Dabei werden die entsprechenden Ventilatoren in Kombination mit Volumenstromreglern über autarke SPS-Module gemäß der individuellen Regelgröße gesteuert. Mögliche Regelkreise wie Aktivitäts- oder Partikelüberwachung werden dabei je nach Einsatzzweck definiert und implementiert. Auf Basis dieses intelligenten Prozess-Managements ist  es möglich, unter reinsten Bedingungen absolut energieeffizient zu arbeiten.

Energetische Verbesserungen sind außerdem als „retrofit“ für bestehende Labore in vielen Fällen möglich. Sollen die Prozessbänke in einen bestehenden Reinraum eingebracht und integriert werden, bestehen auf technischer Ebene zwei Möglichkeiten:

• Reicht das hauseigene Luftvolumen aus, um den Bedarf der Anlagen zu decken, wird über Volumenstromregler die benötigte Luft in und aus der Anlage geführt. Hier kann durch die Einsparungen mit Hilfe der oben erwähnten intelligenten Volumenstromregelung eine Verbesserung der energetischen Bilanz erreicht werden.
• Reicht hingegen die hauseigene Versorgung nicht aus oder wird die Anlage in ein Labor ohne Zu- und Abluftversorgung installiert, kann ein Betrieb im Umluftverfahren für Energieeinsparungen sorgen. Sowohl endständige Filter als auch Abluftfilter werden dabei genau auf den Verwendungszweck der Anlage und die verwendeten Materialien und Chemikalien abgestimmt.

Neben den individuellen energetischen Maßnahmen spart die MK Nasswerkbank durch angepasste Einbauten auch wertvolle Ressourcen ein. Über die SPS-Module werden optimale Befüllungsmöglichkeiten sowie Sprüh- und Haltezeiten für Spülbecken als Rezepte ausgearbeitet und angewandt. Eine integrierte Leitwertmessung ermöglicht bspw., dass der Spülprozess nach dem Erreichen eines festgelegten Wertes mit einem letzten Spülen stoppt.

Durch die Anpassung von Beckenmaßen können auch Einzelprozesse mit einem geringen Einsatz von Verbrauchsmitteln ermöglicht werden, die z.B. in der Forschung und Entwicklung zum Einsatz kommen. Die Planung und Auslegung erfolgt dabei immer in engster Abstimmung mit dem jeweiligen Kunden.

Durch ihre Variabilität und Modularität erstrecken sich die Anwendungen der MK Nasswerkbank branchenunabhängig in die unterschiedlichsten Themenfelder:

• Von der Halbleiterbranche über
• die Glasbehandlung
• oder die Erstellung von mikrooptischen Komponenten,
• z. B. mit  lithographischen Prozessen mit entsprechend integrierter Gelblicht-Beleuchtung,
• hin zur Qualitätskontrolle bzw. Qualitätssicherung unter reinsten Bedingungen mit Hilfe von Massenspektrometrie oder verwandten Analyseprozessen.