Innovative Hochleistungskeramik für die Halbleiterindustrie
Kyocera Fineceramics Europe hat ihre innovative High-end-Keramik Starceram N3000 P weiterentwickelt und bringt ein neues Siliziumnitrid für die Funktionsprüfung von Mikrochips der nächsten Generation auf den Markt.
Neues Siliziumnitrid für die Funktionsprüfung von Mikrochips der nächsten Generation
Aktuell ist der Ausbau der europäischen Halbleiterfertigung mehr als gefragt. Folglich gibt es auch in Sachen Weiterentwicklung stetige Fortschritte. So werden die Strukturen dieser hochintegrierten Schaltkreise jährlich kleiner und dichter. Insbesondere die Herstellung von KI-Chips und Komponenten für elektronische Geräte der fünften Generation stellt dabei höchste Anforderungen. Entsprechend aufwendig ist auch die Qualitäts- bzw. Funktionsprüfung dieser High-end-Mikrochips. Bevor die Chips weiter vereinzelt werden, erfolgt der Test auf dem Silizium-Wafer. Sog. „Probecards“ führen bis zu 100.000 feine Kontaktnadeln und mehr an die Kontaktierungen der Mikrochips heran und ermöglichen es so, deren Funktionalität zu testen. Eine Siliziumnitridplatte dient zur Führung und Isolation der Kontaktnadeln in der Prüfkarte. Siliziumnitrid spielt bei hierfür eine wichtige Rolle: es ist in der Lage, diese geringfügigen Abstände selbst über den extremen Temperaturbereich von -40–+200°C absolut konstant zu halten. Gegenüber Starceram N3000 P konnte der Ausdehnungskoeffizient des neuen Materials gezielt erhöht werden. Zusätzlich zum erhöhten Ausdehnungskoeffizienten weist das neue Siliziumnitrid eine hohe Biegefestigkeit von > 800 Mpa auf. Das erlaubt die Herstellung dünner Siliziumnitridplatten bei gleichzeitig sehr engen Abständen zwischen den Kontaktnadeln.
